化學(xué)機(jī)械拋光是指利用拋光機(jī)、拋光液、拋光布等在一定的工藝條件下實(shí)現(xiàn)材料表面高平坦化的加工過(guò)程，其中拋光液的供給由蠕動(dòng)泵完成。
蠕動(dòng)泵特有的泵送液體與泵體嚴(yán)格分離的結(jié)構(gòu)以及泵管和泵頭可隨時(shí)更換的特點(diǎn)，使得在化學(xué)拋光過(guò)程中，蠕動(dòng)泵應(yīng)用的優(yōu)勢(shì)非常明顯。
（1）無(wú)污染：在化學(xué)拋光過(guò)程中，蠕動(dòng)泵輸送的拋光液始終在泵管內(nèi)流動(dòng)，不接觸泵體，尤其是不與機(jī)械傳動(dòng)機(jī)構(gòu)接觸，避免了化學(xué)機(jī)械拋光過(guò)程中的金屬污染，同時(shí)也不會(huì)由于拋光液的腐蝕性損壞泵體的機(jī)械元件。
（2）具有自吸能力：蠕動(dòng)泵在工作過(guò)程中，可產(chǎn)生足夠的真空吸力將拋光液從夜池中吸到泵管中，從而可免除前期灌泵和吸入管充水過(guò)程。這也免除了淹沒(méi)充水的需要，因此不再需要將泵置于液體源液面以下，使泵的安裝位置變得更加靈活，與拋光機(jī)本身更好的融為一體。另外，蠕動(dòng)泵中充水不會(huì)流失，因此可免除無(wú)謂停機(jī)。
（3）操作簡(jiǎn)便：蠕動(dòng)泵的操作非常簡(jiǎn)單，開(kāi)箱取出即可使用。泵頭的安裝只需要用手旋螺釘幾分鐘內(nèi)即可安裝好，泵管的安裝、拆卸、鎖緊可根據(jù)要求隨時(shí)進(jìn)行，不需要任何工具。另外，蠕動(dòng)泵控制簡(jiǎn)單，用撥號(hào)盤(pán)或小鍵盤(pán)即可進(jìn)行轉(zhuǎn)速控制，通過(guò)直觀(guān)易懂的菜單方式來(lái)編程控制較為復(fù)雜的任務(wù)。另外根據(jù)不同的流量要求也可一個(gè)蠕動(dòng)泵同時(shí)連接2-3個(gè)泵頭，實(shí)現(xiàn)拋光液的多路供給。